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河北金属硅厂家分析高纯硅粉的合成特点与设备

来源:http://hebei.kxdyjnc.com/news772902.html发布时间:2022/3/3 11:00:00

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      河北金属硅厂家查了下资料,根据资料研究表明,高纯河北硅粉粉体的纯度以及粒度、晶体类型等参数对PVT法生长的河北碳化硅单晶质量和后续器件质量有一定的影响。本文叙述了用PVT法合成单晶生长用高纯碳化硅粉末的过程。

  高纯硅粉粉末的合成方法及展望。

  高纯硅粉的合成方法

  金属硅厂家了解到的 高纯硅粉的合成方法很多,可分为三种。一种方法是固相法,其中有代表性的有碳热还原法、自蔓延高温合成法和机械粉碎法;二种方法是液相法,其中有代表性的方法有溶胶-凝胶法和聚合物热分解法。第三种方法是气相法,包括化学气相沉积法、等离子体法和激光诱导法。

  高纯硅粉各种配置方法的优缺点

  固相法合成碳化硅粉体经济,原料来源广泛,价格低廉,易于工业化生产。但是用这种方法合成的碳化硅粉末杂质含量高,质量低;高温自蔓延法是利用高温给反应物初始的热量开始化学反应,然后利用自身化学反应的热量使未反应的物质继续完成化学反应。但由于 si 和 c 的化学反应放出的热量较少,需要加入其他添加剂来维持自蔓延反应,这不可避免地导致杂质元素的引入。


  目前,液相合成碳化硅粉的技术已经比较成熟,利用液相合成的碳化硅粉具有高纯度和纳米级的粉末,但是工艺比较复杂,而且容易产生对人体有害的物质。

  气相法合成的碳化硅粉纯度高,粒径小,是目前合成高纯碳化硅粉的常用方法。但是这种合成方法成本高,收率低,不适合大规模生产。

  高纯硅粉合成设备

  金属硅厂家针对高纯硅粉合成设备也做了下了解,一般来说用于制备碳化硅单晶生长所需的碳化硅粉。高质量的高纯硅粉对碳化硅晶体质量的后续生长起着重要的作用。

  该高纯硅粉是由高纯碳粉与硅粉直接反应合成的,采用高温合成法生成。碳化硅粉末合成设备的主要技术难点是高温高真空密封与控制、真空室水冷、真空与测量系统、电气控制系统、粉末合成罐加热与耦合技术。

  以上是小编的分析,希望对大家有所帮助,有任何问题大家随时在网站给小编留言。

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